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SINOVAC半導體車間真空吸塵系統CVE1510
詳細信息| 詢價留言加工定制:是 品牌:SINOVAC 林格曼黑度:0級 型號:CVE1510 除塵率:99.993 % 阻力損失:20 Pa 液氣比:0:1 出口含塵濃度:0.007 g/Nm3 使用溫度范圍:26 ℃ 處理風量:2600 m3/h 過濾速度:1200 m/min 使用溫度范圍:26 ℃ 半導體車間真空吸塵系統
在半導體制造車間(尤其是晶圓制造的核心區域——潔凈室),粉塵(更準確地說是空氣中的微粒污染物)是頭號敵人之一。這些微小顆粒一旦落在精密的硅片上,就可能造成電路短路、開路或參數漂移,導致芯片失效或良率大幅下降。因此,控制粉塵是半導體生產的核心要求之一。
峰澤凱SINOVAC車間吸塵系統
滿足潔凈度等級要求:半導體制造需要維持極其嚴格的空氣潔凈度標準(每立方英尺空氣中特定大小顆粒的數量上限)。普通吸塵器在清潔過程中本身就會攪起大量顆粒并釋放新顆粒,完全違背潔凈室運行原則。
潔凈室吸塵器是整個潔凈室污染控制策略的一部分,其設計和操作都是為了維持或恢復所需的潔凈度等級,而不是破壞它。
收集和處理特殊污染物:
半導體工藝可能產生有害粉塵(如某些金屬、化學品殘留物)。
潔凈室吸塵器可以配備HEPA/ULPA過濾的密封集塵系統,確保有害物質被安全捕獲且不外泄,便于集中處理。
半導體車間(潔凈室)內存在多種來源的微粒污染,其大小足以對納米級的電路結構造成致命損傷。為了在清潔維護過程中避免引入新的污染源、防止靜電損傷、并確保排出的空氣符合甚至優于潔凈室標準,必須使用專門設計的無塵室真空吸塵系統。這種系統是半導體制造高良率和可靠性的關鍵保障設施之一,絕不是普通吸塵器可以替代的。它們是潔凈室“清潔工”,但自身必須是“超級潔凈”的典范。
我們將為您的車間定制滿意的中央吸塵系統! -
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